1）投射电镜

透射电子显微镜（Transmission Electron Microscope，简称TEM），可以看到在光学显微镜下无法看清的小于0.2 μm的细微结构，这些结构称为亚显微结构或超微结构。

结果呈现：

2）扫描电镜

扫描电镜（SEM）利用电子和物质的相互作用，可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。扫描电子显微镜对二次电子、背散射电子的采集，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像，可得到有关物质微观形貌的信息。扫描电镜有较高的放大倍数，20-20万倍之间连续可调；有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构；试样制备简单，不含水的样本可以不用固定。扫描电镜HITACHI Regulus 8100。

扫描电镜HITACHI Regulus 8100主要技术指标：

二次电子分辨率：1.0 nm（加速电压15 kV、WD=4mm）1.3 nm（加速电压1kV、WD=1.5mm）

放大倍数：1000～1000,000

加速电压：0.1-30KV

结果呈现：